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联系人；居琦
特长 ##内置中空滤芯。
##压力降：0.03MPa(入口压0.7MPa、较大流量时)
##对应RoHS指令(限制有害成分)
注) 入口空气条件相当于ISO 8573-1品质等级1.4.1～1.6.1
系列 使用流体 设定压力 流量范围 L/min (ANR)
直筒式 SFB100 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)
特长 ##可更换滤芯的卡盘式。
一次性使用式
直筒式 SFB300 Max.15MPa
(真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多层盘式 SFC100 Max.1.8MPa
(真空：1.3×10-6kPa)
特长 ##用于半导体工艺的一次性使用式。
洁净气体滤网 SFB200 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa) 120μm
系列/CAD 种类 使用压力 过滤精度
SFD100 一次性使用式
(不可更换滤芯) MAX.1.0MPa 0.01μm
(捕捉效率：99.99%)
SFD200 卡盘式
(可更换滤芯)
LLB3 洁净空气
氮气注) 0.05～0.4MPa 5～100
LLB4 50～500
特长 ##洁净元件？榛(削减配管工时/省空间)。
##可简便得到清洁空气。
##过滤精度：0.01μm(捕捉效率99.99%)。
##接流体部：无润滑脂、无硅。
##洁净室组装两层捆包出厂。
##可有24种组合。
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