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主要技术参数
阀功能 M52-R B52 M52-M P53
初始位置 – – – C 1) U 2) E 3)
稳态位置 单电控 双电控 单电控 单电控
复位方式: 气复位 是 4) – 否 否
复位方式: 弹簧复位 是 4) – 是 是
真空工作，气口 1 仅适用于外先导气源
结构特点 活塞滑阀
密封原理 软
驱动方式 电
控制方式 先导
先导气源 内或外先导
排气功能 带节流
手控装置 可。喊磁ナ, 封盖式, 按钮式/锁定式或锁定式
安装方式 可选
通过通孔 5) 或气路板
安装位置 任意
公称通径 [mm] 2 1.4 2
额定流量 [l/min] 100 80 90
气路板流量 [l/min] 100 80 90
开关时间，开/关 [ms] 7/15 – 7/21 8/25
转换时间 [ms] – 5 – 14
阀宽 [mm] 10
气口 1, 2, 3, 4, 5;12/14 M3
产品重量 [g] 38 49 37
c UL us- Recognized (OL)
c CSA us(OL)
CE 标记（参见合格声明） 符合欧盟电磁兼容性指令 6)
耐腐蚀等级 CRC 7) 2
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