介绍日本Panasonic晶圆定位传感器，FC-SF4A-H20

    中心测量距离45mm

    短路保护装备(自动复位)     投光：0 3V或9V +V(26.4V MAX.)

    0.4V以下(流入电流为16mA时)     剩余电压：1V以下(源电流为100mA时)

    材质外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯

    投光停止输入信号条件    NPN开路集电极晶体管

    外加电压：30V DC以下(输出和0V之间)

    检测物体3英寸以上的半导体晶圆(注2)

    检测角度12.5±5°(注4)

    工作状态指示灯橙色LED(输出ON时亮起)

    输入OFF：断开或4 8V    保护构造IP20(IEC)    投光元件LED(调制式)

    剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时)

    型号M-DW1    消耗电流65mA以下反应时间500μs以下

    灵敏度设定背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行

    输出NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择

    耐电压AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间

    绝缘电阻所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

    使用环境湿度35 85%RH、存储时： 35 85%RH

    较大源电流：100mA　　　　　　　 0.4V以下(源电流为16mA时)

    输出动作可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON

    使用环境温度0 ＋55℃(注意不可结露)、存储时： 10 ＋70℃

    外加电压：30V DC以下(输出和+V之间)

    灵敏度切换输入信号条件    电缆0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm

    可对应检测面有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)

    适用晶圆盒SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒

    输入ON ：0 3V或9V +V(26.4V MAX.)

    晶圆间距间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)

    使用环境照明度白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下

    稳定指示灯绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)

    投光停止：断开或4 8V    <NPN输出>PNP开路集电极晶体管

    定时器功能装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式

    电源电压12 24V DC±10%　脉动P-P10%以下

    耐冲击耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回

    种类LED式反射型     较大流入电流：100mA <PNP输出>

    耐振动频率10 500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时

    检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式

    电缆延长0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m

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