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概述SUNX晶圆定位传感器M-DW1
反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
传感器可以从正前方、右侧、左侧、
下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，
质量约为75g的小巧、轻盈型。
保护构造 IP20(IEC)
使用环境温度 0?＋55℃(注意不可结露)、存储时：?10?＋70℃
使用环境湿度 35?85%RH、存储时： 35?85%RH
耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10?500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(调制式)
材质 外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯
电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm
电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
重量 本体重量：约75g
概述SUNX晶圆定位传感器M-DW1
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